HREM

 

Rasterelektronenmikroskop (REM) JEOL JSM 7600F

Das JSM 7600F ist ein hochauflösendes REM mit einer Vielzahl von Abbildungsmöglichkeiten (in-lens SE, LEI; BSE, STEM). Die probennahe Positionierung des BSE-Detektors erlaubt eine Abbildung des chemischen Kontrasts bis in hohe Vergrößerungsbereiche. Die hohen Zählraten des SDD-EDX Detektors erlauben u.a. Element-mappings mit verlässlichen Daten in kurzer Zeit.

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Installation: 2011
Auflösung: 1.4 nm (1kV) – 1 nm (15kV)
Ausstattung:
  • TFEG
  • in-lens SE Detektor
  • BSE Detektor
  • EDX Detektor (INCAEnergy 350, Oxford)
  • STEM Detektor